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半导体行业微波等离子去胶机,等离子清洗机,电浆清洗机,等离子清洗设备,德国技术,进口配置

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    山东省 烟台市

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基本参数
  • 原理

    微波等离子体清洗、去胶、刻蚀

  • 工作电压

    220V

  • 机器类型

    清洗机

  • 材质

    高纯石英

  • 适用范围

    SU8光刻胶灰化及硅蚀产业

  • 工作频率

    2.45GHZ

  • 功率

    0-1000W

  • 超声清洗频率

    2.45GHZ

  • 工作方式

    微波等离子

  • 外形尺寸

    1000(W)×800(D)×1750(H)mm cm

  • 产地

    山东

  • 类型

    一体式

  • 用途

    工业用

  • 品牌

    戈德尔

  • 型号

    WB240

  • 加工定制

详细说明

   

>> 产品特点 
   WB240等离子清洗机/去胶机采用专利高密度微波等离子技术,用于半导体生产中晶圆的清洁、去胶和等离子体预处理,微波等离子体清洗具有高度活性、高效,且不会对电子装置产生离子损害。    
微波等离子清洗机主要用途: 
  ·等离子体表面改性
  ·有机物表面等离子去胶
  ·邦定强度增强
  ·等离子体刻蚀应用
  ·等离子体灰化应用
  ·增强或减弱浸润性
  ·其它等离子体系统应用
>> 技术参数
 ◆ 外形尺寸
    1000(W)×800(D)×1750(H)mm
 ◆ 仓体结构(石英,约20升)
    Φ 245mm ×400Lmm  
 ◆ 等离子发生器(德国)
    频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作
 ◆ 控制系统
    触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
    英国爱德华斡旋式干泵 GV40
    美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器      
    台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 
 ◆ 充气系统
    美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制)
    美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀

    日本SMC及CKD高真空气阀组件

>> 相关应用    

  - 晶圆光刻胶清洗 

  - 去除残胶

  - 晶圆和衬底的清洁


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