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500oC 真空热压机---VHP-5T-4

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    安徽省 合肥市

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  • 经营证照:
基本参数
  • 适用领域

    在此温度下可对样品实加的最大压力为6T。

  • 槽数

    1

  • 电源电压

    220V

  • 类型

    一体式

  • 用途

    在此温度下可对样品实加的最大压力为6T。

  • 品牌

    MTI-合肥科晶

  • 型号

    VHP-5T-4

  • 加工定制

详细说明

   VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理最大样品尺寸为100mm x 100mm。仪器最高工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的最大压力为6T

技术参数

结构

  • 两块135mm x135mm加热平台,采用高温合金钢制成,最高可承受温度为500
  • 1000W的加热管嵌在加热平台的中间,以达到快速加热的效果
  • 两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置30段升降温程序
  • 水冷管设计在加热平台的顶端,以达到快速冷却的效果

液压泵

  • 20T的电动液压机与真空腔体相连接
  • 两个加热平台之间的可移动距离为15mm
  • 自动压力控制并带有数显压力显示
  • 压力控制精度为+/-0.01 Mpa( 0.1 kg/cm2 )
  • 两个加热平台最高工作温度为500℃,加热平台顶端安装有冷却水管。当工作温度高于200℃时,请注入冷却水(>15L/min

温控系统和压力显示

  • 两个精密的温控系统可设置30段升降温程序,期控温精度为+/1℃,分别独立控制两个加热平台。
  • 温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护。
  • 最高工作温度为500℃。
  • 升温速率:< 10
  • 软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中。
  • 数字压力显示器(控制器)安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止。
  • 控温仪表操作视频

真空腔体

  • 电动液压装置和加热台都安装在真空腔体内。
  • 真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形),真空度可以达到10E-3 torr
  • 内部腔体尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)
  • 真空腔体前端有一直径为150mm的观察窗口
  • 一个高灵敏度的真空计安装在真空腔体上,测量内部的真空度

电源

功率:2500W

电源: 208 - 240VAC, 50/60 Hz 单相

外形尺寸

600mm(L) x 500mm(W) x 400mm(H)

质保期

一年质保期,终生维护

 
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