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小型1000℃RTP炉-OTF-1200X-4-RTP

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  • 商家等级:
  • 买卖通指数:
  • 所在地区:

    安徽省 合肥市

  • 认证信息:
基本参数
  • 类型

    一体式

  • 适用领域

    它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计

  • 用途

    它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计

  • 槽数

    1

  • 产品认证

    CE

  • 尺寸

    760 X 330 X 530 mm

  • 额定温度

    1100℃

  • 功率

    9 KWW

  • 主要用途

    它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计

  • 最大电压

    208-240 AC

  • 品牌

    MTI-合肥科晶

  • 型号

    OTF-1200X-4-RTP

  • 加工定制

详细说明

   OTF-1200X-4-RTP是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。   

技术参数

技术参数:



炉体结构

  • 双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)
  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

加热元件

8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)(点击图片查看详情)

加热区

12" length with 4"X12”恒温区( +/-5oC )

 

 

石英管和样品架

  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
  • 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料
  •  一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
  • AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+- 5°C

 

真空法兰

  • 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O”型圈密封
  • 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

 

 

 

水冷

如果要求通冷却水.

  • 请确定冷却水流速≥ 3L/min, 水温 < 20oC; 水压 > 25 PSI
  • 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统(为了节约用水).
  • 警告:  这款 RTP 炉在1000oC ~ 1100oC下保温时间不超过 600 秒,否则“O”圈将被烧融

流量计

范围: 16 - 160 ml/min

真空表

  • 数字真空表,测量范围:10mtorr~800 torr .
  • 可选本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
 
真空度
  • 用机械泵真空度达 50 mtorr .
  • 用分子泵真空度可达 10-4torr .

温度控制

PID 自动控制, 可控硅SCR

热偶

进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。

 

 

 

温控仪

  • PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护功能
  • 热偶: 进口K type
  • 自整定功能
  • 控温精度: +/- 1°C
  •  RS485 串口和温控软件(模块和数据线需要另购)   温控操作视频:点击查看

最快升温速度 

室温~800℃: 50oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec
             最新升温曲线   直接升温到1000℃分阶段升温数据 请点击查看

 

 

 

最快降温速度 

60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一个大气压下) 
选择:  为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉,如下图:
 

温度

最高1100oC ,额定1000°C

电源 

208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险) 

尺寸 

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) 

重量 

45 kg (100 lbs) 
保修期
电器部分一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内)
认证
 CE 认证
操作视频

炉子安装视频                

      升温视频                 

国家专利               

专利名称:一种快速高温退火炉

专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究



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