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MTI-合肥科晶 Si+Si3N4 薄膜(进口料)

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  • 所在地区:

    安徽省 合肥市

  • 认证信息:
基本参数
  • 型号

    Si+Si3N4

  • 加工定制

  • 产地

    中国

  • 级别

    一级

  • 形态

    片状

  • 颜色

    灰色

  • 品牌

    MTI--科晶集团--合肥科晶

详细说明

产品名称:

Si+Si3N4薄膜(进口料Silicon Nitride Film (LPCVD) on Silicom Wafer N type doped P)

常规尺寸:

dia 4" ±0.5 mm x  0.525 ±0.025 mm

标准包装:

1000级超净室100级超净袋真空包装、单片盒或插盒

 技术参数:


Si参数:


晶向:<100>±0.5°;

掺杂类型:N型掺P;

电阻率:1-20 ohm-cm

抛光:单抛;

Si3N4参数:


生长方法:low stress LPCVD method

薄膜厚度:1.3um ±5%300 nm  +/- 10%

镀膜情况:Si3N4 covers both side of Silicon wafer

 


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