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半导体行业废气处理设备 半导体企业废气处理方案设计 山东厂家

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  • 商家等级:
  • 买卖通指数:
  • 所在地区:

    山东省 济南市

  • 认证信息:
  • 经营证照:
基本参数
  • 处理浓度

    10-2000(mg/L)

  • 是否跨境出口货源

  • 产地

    山东

  • 处理风量

    2000-64000(m3/h)

  • 规格

    5400*1500*3500

  • 净化率

    98(%)

  • 适用领域

    集成电路、分立器件以及光电组件生产企业等

  • 售后服务

    一年保修

  • 种类

    废气治理工程

  • 执行质量标准

    国标

  • 空气净化技术

    活性氧技术

  • 经营模式

    自产自销

  • 品牌

    其他

  • 型号

    半导体公司废气处理

  • 加工定制

  • 启燃温度

    260(℃)米

  • 空速

    3m/s

  • 适用星级

    所有星级

详细说明

本产品价格为虚拟价格,来电咨询可获真实报价!

 

同行请勿盗取我们的产品图和设计图,一经发现,必将按阿里规则投诉处理!

 

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铂锐可治理以下半导体企业生产过程中产生的废气:

  • 集成电路生产企业:主要包括数字集成电路板及模拟集成电路板生产企业
  • 分立器件生产企业:主要包括晶体二极管、三极管,整流二极管,功率二极管、化合物二极管等生产制造企业
  • 光电组件生产企业:包括LED、OLED、LCD、光伏太阳能等的生产制造企业。





半导体企业废气排放特征分析
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。

 

 

半导体行业废气组成分析:
半导体行业产生的废气,主要可以分为4大类:

1.酸性废气和碱性废气。

这2类废气的来源为化学清洗站,具刺激性及有害人体。故一般以湿式洗涤塔做水洗处理后再排入大气。洗涤塔利用床体或湿润的表面可去除0.1微米以上的粒子。其气体与液体的接触方式有交叉(垂直交叉)流式、同向流式及逆向流式三种,而水流的设计上,有喷嘴式,喷雾式,颈式及拉西环式等四种。

 

2.有机废气。

半导体行业产生的有机废气,主要可以分为,半导体制造工艺产生的有机废气,和半导体封装工艺产生的有机废气。
半导体制造工艺产生的挥发性有机废气,主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序,在这些工序中要用有机溶液(如异丙醇)对晶片表面进行清洗,其挥发产生的废气是有机废气的来源之一;同时,在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的有机溶剂,如醋酸丁酯等,在晶片处理过程中也要挥发到大气中,是有机废气产生的又一来源。
与半导体制造工艺相比,半导体封装工艺产生的有机废气较为简单,主要为晶粒粘贴、封胶后烘烤过程产生的烘烤废气。

 

3.含毒气性废气。
其来源为化学气相沉积、干蚀刻机、扩散、离子布值机及磊晶等制程时所产生。


 

现在,关于半导体行业废气排放标准主要有2个,一个是**正在制定的《电子工业污染物排放标准》,现处于征求意见阶段,尚未正式颁布实施,另一个是上海市于2006年颁布实施的《半导体行业污染物排放标准》。


所以,除上海市以外,对于半导体行业废气处理,其他地区都暂时执行的是地方标准或**《大气污染物综合排放标准》GB 16297-1996与《恶臭污染物排放标准》GB 14554-1993。

 

我们在为您出具治理方案时,以这些排放指标为依据,保证废气排放达标。

 

 

由于半导体行业有4种不同的废气,不同的废气种类适合不同的净化方案。

 

1. 酸性废气和碱性废气治理,推荐使用喷淋塔。
对半导体制造中产生的酸性和碱性废气采用分别收集、分别处理的方法,但处理设备和处理原理基本相同。
对于含有 酸性/碱性物质的废气,大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但是,有些情况下,由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此部分酸性/碱性废气在输送至中央废气处理系统前,常因气体特性导致在管路中结晶或粉尘堆积,造成管路堵塞后导致气体外泄,严重者甚至引发**,危害现场工作人员的工作安全。
因此,在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废气处理设备进行就地处理,之后再排入中央处理系统,而一些特殊的废气,包括剧毒、自燃、易爆等废气则需要先通过干式洗涤塔等设备通过吸附或氧化/燃烧等方法就地处理,之后再排人中央废气处理系统 。

 

2. 有机废气和毒性气体治理
现在,国内治理有机废气和毒性气体的技术是差不多的,因此,对于,这两种废气治理技术我们合并讨论。

 

现在,半导体制造过程中排放的含有有机成分的废气(voc)通常采用直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等方法进行处理。但这3种方法都有一定的弊端:

  • 低浓度大风量的有机废气直接焚烧会造成大量的燃料消耗和不必要的污染,只有较高浓度的有机废气才建议直接焚烧,半导体制造的有机废气排放特点就是浓度低、风量大,因此必须考虑将有机废气浓缩后再进行焚烧处理。
  • 活性碳吸附的方法,由于其材料特性,存在易燃烧、水分敏感度高、脱附后残留负荷高等缺点,在半导体行业基本不再使用。
  • 生物氧化技术作为一种较新的处理技术,还有待在处理大风量方面做进一步的研究和发展。

 

 

针对半导体行业有机废气和毒性气体的治理,济南铂锐净化设备有限公司推荐尝试使用低温等离子废气处理技术。其净化原理是:
将普通的220V/380V交流电通过变压器,变频器转换为高频高压的电压,产生足以击穿气体的电压,释放出高能电子,高能电子破坏有机废气中的气体分子之间的化学键,断开这些化学键从而产生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体,等离子体中的氧原子和碳原子结合形成二氧化碳,氧原子和氢原子结合形成水分子,最终产生排放到大气中的气体为无污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。

该技术具有以下优点:

  • 放电产生的低温等离子体中,电子能量高,几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。
  • 反应快,不受气速限制。
  • 采用防腐蚀材料。
  • 只需用电,操作极为简单。
  • 设备启动、停止十分迅速,随用随开,常温常压下即能使用。
  • 气阻小,适用于大风量的废气处理。


 
















 




针对废气处理,铂锐可以为客户提供以下服务:

1. 免费系统方案设计

 

铂锐可以根据客户现场工况,由技术服务部门设计制作烟气治理方案。铂锐的方案设计一般具有2大特点:

  1. 高效,满足环保部门的要求。
    • 这虽然是对所有烟气处理方案的基本要求,但并非每家的方案都能达到预期的效果,这需要技术团队有深厚的理论功底、丰富的工程实践经验以及对工艺的深入了解。
    • 铂锐的方案,可以承诺满足烟气排放要求,不达标可全额退款!
  2. 经济性与实用性兼顾。
    • 由于处理过很多的喷涂烟气,因此,铂锐更加了解每类不同的客户,也对每种烟气处理设备的适用性了然于心,因此,我们设计的方案,一般都是经济性与实用性兼顾。

 简单而言,我们会综合运用多种**烟气处理技术,在保证处理效果的基础上为客户提供最实惠的净化方案。

 

2. 烟气处理成套设备供应

铂锐可以为客户提供成套的烟气处理设备,热销的烟气处理成套设备如下:

  • 喷淋塔+UV光解设备+风机
  • 喷淋塔+活性炭吸附装置+风机
  • 喷淋塔+等离子UV光解一体机+风机
  • 喷淋塔+等离子活性炭一体机+风机
  • 低温等离子UV光解一体机+活性炭箱+风机

 

3. 烟气处理设备的单独供应

 

 










慧聪网厂家济南铂锐净化设备有限公司为您提供半导体行业废气处理设备 半导体企业废气处理方案设计 山东厂家的详细产品价格、产品图片等产品介绍信息,您可以直接联系厂家获取半导体行业废气处理设备 半导体企业废气处理方案设计 山东厂家的具体资料,联系时请说明是在慧聪网看到的。

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